ロードポート対応膜厚測定システム GS-300 測定例

ロードポート対応膜厚測定システム 
GS-300の測定例をご紹介します。

研削後300mmウェーハ

Si層厚み分布(約771μm)

ロードポート対応膜厚測定システム GS-300 測定例
  • TSV埋め込みパターンウェーハの研削後Silicon厚み
  • Φ300mmサイズのウェーハ厚み

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