ロードポート対応膜厚測定システム
GS-300

パターンマッチ機能搭載、X-Y位置決め精度2um以下のシステムです。
測定項目
  • 厚さ測定
測定対象
  • 半導体分野
  • 光源照明
  • 光学材料
  • フィルム
  • 記録材料
  • 自動車
特長
  • Φ300mmEFEMユニット予備ポートへのインテグレーションに対応
  • ウェーハに埋め込んだ配線パターンのパターンアライメントを実現
  • 半導体プロセスの高スループット要求に対応
  • ノッチアライメント機能に対応
  • 小フットプリント仕様

ロードポート対応膜厚測定システム GS-300とは

パターンマッチ機能搭載、X-Y位置決め精度2um以下のシステムです。

測定項目

厚さ測定

測定対象

  • 半導体分野光源照明光学材料フィルム記録材料自動車

動画

  •  

測定例

仕様

名称 オートマッピングシステム ロードポート対応膜厚計
型式 ー ー GS-300 series
ステージ方式 X-Yステージ R-θステージ
光学系 測定プローブ+CCDカメラ 同軸顕微ヘッド+IRカメラ
最大ウェーハサイズ 150 mm以下 300 mm以下 φ300 mmのみ
ウェーハ角度補正 あり
パターンアライメント あり
ウェーハ厚み範囲 分光干渉式ウェーハ厚みセンサー仕様に準ずる
装置サイズ(W×D×H)mm 本体:570×600×780
コントローラ:500×273×177
(PC、モニターサイズは除く)
本体:773×760×600
コントローラ:350×310×120
LED電源:90×160×80
(PC、モニターサイズは除く)
500×500×1680
PC内蔵
(モニター、
キーボードサイズは除く)

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