スマート膜厚計 スマート膜厚計 SM-100series製品名

誰でも簡単に、迅速に。
高精度で、
持ち運び可能な膜厚計

測定対象例
  • 光学フィルム
  • 接着層
  • 酸化膜
  • レジスト膜
  • ハードコート膜
  • ポリイミド膜
測定膜厚範囲
  • Pro(単層):0.1~100μm
  • Pro(多層):1~100μm
  • Standard(単層):1~50μm

スマート膜厚計の開発発想

従来発想

高精度な膜厚測定は
簡易的な膜厚計では難しかった。

従来高精度な膜厚計は持ち運びが難しく、簡易的な膜厚計では高精度な測定は難しかった。

新発想

高精度で、持ち運び可能な膜厚計、
誕生!

分光干渉式を採用することにより、高精度な測定を実現し、なおかつコンパクトなハンディタイプを実現しました。

膜厚測定の困った!

  • 測りたい“その場”ですぐに測れない
  • 人によってバラつく測定結果
  • 測定精度が悪い

スマート膜厚計なら!

スマート膜厚計:画像

使うヒトや
場所にしばられず

高精度な膜厚測定を
可能にしました。

現場に持っていけるハンディタイプなので、従来の膜厚計では今まで持っていけなかった場所に持っていける。
分光干渉式を採用しているため0.1μm単位で緻密な測定ができる。

スマート膜厚計:測定イメージ

Use Case 活用例

スマート膜厚計だから
解決できる
技術課題をご紹介します

Features 特長

測るを、もっとスマートに

  1. 特長 01 現場に持っていける
    ハンディタイプ

    これまで、高性能な分光干渉方式の膜厚計は持ち運びできない卓上型が一般的でした。
    しかし、新たにハンディタイプを開発することにより高性能な分光干渉方式もついに持ち運びが可能となり、様々なシーンに活躍の機会が広がりました。

    現場に持っていけるハンディタイプイメージ図
  2. 特長 02 簡単だから誰でも使える

    プローブをサンプルに当てるだけなので、誰でも簡単に測定が可能。また、無駄をそぎ落としたソフトなので直感的な操作が可能です。

    簡単だから誰でも使えるイメージ図
  3. 特長 03 形状のある試料も
    非破壊で測れる

    今まで形状の制約により非破壊で測れなかったものが測れるようになりました。
    測定用の平板ダミーサンプルを用意して測っていたケースでは、最終製品状態の厚みは予想膜厚という扱いであったが、実測できるようになったため正確な膜厚管理が実現します。

    形状のあるサンプルも非破壊で測れるイメージ

Specs 仕様

仕様
項目 Pro Standard
 型式 SM-100P SM-100S
 測定方式 反射分光法(光干渉法)

測定膜厚範囲*1

0.1~100μm(単層)
 1~100μm(多層)
1~50μm(単層)
 
 多層対応 最大3層 1層
 測定繰り返し性 2.1σ 0.01μm(シリコン酸化膜1μm)
 測定スポット径 Φ1mm以下
 データ出力形式 USBメモリにテキスト形式でエクスポート

 

本体サイズ

約138(W)×198(D)×61(H)mm


※突起部を含む

 重量 約1.1kg
 駆動時間 4時間 以上(測定中)
 電源電圧/電力 AC100-240V/35VA(ACアダプタ入力)
 保護等級 IP30/IK06

*1 サンプル屈折率が1.6の場合

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