顕微分光膜厚計

膜厚測定の常識を変える！
この1台で
ほぼすべての膜種を計測

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測定分野

半導体
フィルム
太陽電池
DLC
FPD
光学部品

測定例

酸化膜
窒化膜
レジスト膜
ARコート膜
ペロブスカイト膜
各種光学薄膜

測定項目

絶対反射率
膜厚解析
光学定数解析（n：屈折率、ｋ：消衰係数）

OPTM(オプティム)の開発発想

従来発想

測定対象に合わせて
膜厚測定方法を変えていた

膜の厚み、透明・着色試料、形状に応じて専用の膜厚測定装置を使い分けていた。

新発想

幅広い膜厚・膜種・形状に対応した
膜厚測定が可能に

OPTM seriesは幅広い膜厚に対応し、透明体から着色試料まで容易に測定可能。微小スポットでの測定ができるため1台で形状に応じて対応可能。

従来の膜厚計の課題

測定対象によって装置を
使い分けている
測定や解析に専門知識が必要
1台で薄膜から厚膜まで
高精度な測定ができない

OPTM seriesなら!

膜厚測定をもっと簡単に、
もっと高精度に

薄膜・多層膜に対応し1台でさまざまな課題を解決

顕微分光技術により、微小領域の膜厚を非破壊・非接触で高速測定します。
膜厚だけでなく光学定数も解析できるため、研究開発から品質管理まで幅広いニーズにお応えします。

Use Case 活用例

OPTM seriesだから
解決できる技術課題を
ご紹介します

課題1 薄膜や多層膜の測定が難しい

多層膜の膜厚と光学定数を
高精度に解析

ペロブスカイト太陽電池の各層厚みを1台で測定可能。非破壊・非接触で測定可能です。
課題2 膜厚の面内分布を高速に測定したい

非破壊・非接触で
面内マッピング測定

高速オートフォーカスの実現により、ウェーハの面内25点評価を1分以内で測定が可能です。
課題3 凹凸や段差があり測定が難しい

微小スポット測定で
配線パターンにも対応

最小スポット径φ3µｍという微小エリアでの測定が可能。①のようなTEOS/SiN/Si多層膜の測定はもちろんのこと、②のような幅10μmのトレンチ（溝）構造を持つパターン上であっても測定することが可能です。
課題4 極薄膜の膜厚解析が難しい

複数点同一解析により
正確なnkを求められる

膜厚値（ｄ）が100nm以下の極薄膜の場合、精度が低下して正確なｄが求められないことがあります。このような場合、ｄの異なる試料を複数測定し、nkが同一であると仮定して同時解析（複数点同一解析）をします。これにより精度よくnkを求め、正確なｄを求めることが可能です。
課題5 形状がある試料の微小箇所を
測定したい

微小光学系なので
微小箇所の測定にも対応

ステントやバルーンカテーテルなど微小で複雑な形状でも膜厚が測定できる。予想値ではなく実測値で確認ができる。

Features 特長

膜厚計のお悩み完全解決！

特長 01 もう素材を選ばない
幅広い測定膜

OPTMシリーズは光干渉法を用いた分光計測なので、膜種を選ばない高精度な測定が可能です。これまでの膜厚計では不得意だった極薄膜・多層膜・カラーフィルタ・透明基板まで計測が可能です。また正確な絶対反射率を求めることができるので、材質のもつ光学定数（n:屈折率、k:消衰係数）の解析も可能になります。
特長 02 むずかしかった
光学定数解析がもっと身近に

OPTMシリーズはこれまで経験が必要だった膜厚測定・光学定数解析を、かんたんに測定ができる機能を搭載しました。
特長 03 驚きの判定スピードと精度

高速AF（オートフォーカス）により、 1ポイント1秒の高速測定を実現しました。自動XYステージタイプのOPTM-A1シリーズなら、面内25ポイントを1分以内で測定ができます。
超高精度“繰り返し精度0.1nm” 色収差のないレンズ・光学系の採用により、膜厚測定の繰り返し精度0.1nm、反射率測定の繰り返し精度も0.4％～0.8％を実現しました。
（相対拡張不確かさ 2.1σ/Aveの最大値）
特長 04 その他の特長
- 最大50層の多層膜に対応
- 3μmの微小領域も測定可能
- 安全機構エリアセンサー搭載
- 様々な特許取得ソフトウェアの搭載
- 各種測定シーケンス
  カスタマイズ可能なマクロ機能
- ローダー、大型基板対応も可能

Video 動画

【膜厚測定】顕微分光膜厚計　OPTM series

Specs 仕様

仕様

膜厚測定範囲*1	OPTM-A1　1 nm～35 μm OPTM-A2　7 nm～49 μm OPTM-A3　16 nm～92 μm
波長範囲	OPTM-A1　230～800 nm OPTM-A2　360～1100 nm OPTM-A3　900～1600 nm
サンプルサイズ *2	最大200×200×17 mm
スポット径	φ5、φ10、φ20、φ40 µｍ
寸法(W×D×H)	自動XYステージタイプ　556×566×618 mm 固定フレームタイプ　368×468×491 mm 組込みヘッドタイプ　210×441×474 mm／90×250×190 mm^*3
重量	自動XYステージタイプ　66 kg 固定フレームタイプ　38 kg 組込みヘッドタイプ　23 kg／4 kg^*3
最大消費電力	自動XYステージタイプ　AC100V±10V 500VA 固定フレームタイプ／組込みヘッドタイプ　AC100V±10V 400VA