【インラインタイプ】 ラインスキャン膜厚計®【インラインタイプ】製品名

検量線不要の
フィルム全幅・全長膜厚・
工程異常検査 X線でも赤外線でもない
分光干渉式を採用

測定対象
  • フィルム基材
  • フィルム上各種薄膜(AR、ITO、HCなど)
  • ガラス
  • 機能性材料
  • 医療用材料
測定項目
  • 膜厚値(二次元マップ、MD・TDトレンド)
検出対象例
  • MDスジ
  • 横ダン
  • 斜めムラ
  • チャックムラ
  • スポット欠陥

ラインスキャン膜厚計®
の開発発想

従来発想

製品の特定箇所のみを測定して
品質を判断する

インライン測定ではスポット測定が一般的であり、
製品全面の品質把握には限界がありました。

新発想

製品の全幅・全長を測定して
品質を保証する

ラインスキャン膜厚計®はフィルムの全幅・全長の膜厚を
測定し、実測データに基づく品質保証を実現します。
さらに、工程異常や予兆を検知し、フィードバックする
ことで、歩留まり向上にも貢献します。

従来のインライン
膜厚計の課題

  • 顧客やエンドユーザーから、
    より厳しく膜厚管理を要求
    されている
  • 歩留まり向上のため全幅・全長
    抜けの無い膜厚異常を検知したい
  • フィルムのバタつきがネックで
    うまく測定することができない

ラインスキャン
膜厚計®
なら!

nanoSAQLA:画像

スポット測定では
把握できなかった

膜厚変動を可視化

全幅・全長測定で、見えなかった膜厚変化を可視化します。
コンター図・TD/MD方向のトレンド表示により製品全体の膜厚分布を把握し、品質保証や工程管理に活用できます。

ELSZneo:測定イメージ

Use Case 活用例

ラインスキャン膜厚計®
だから解決できる
技術課題をご紹介します

Features 特長

ラインスキャン方式の採用で
「抜け」のない
全面フィルム検査を実現

  1. 特長 01 MD・TD方向において、
    1 mmの空間分解能を実現し、高精度な測定が可能

    従来のスポット測定は、測定ポイント間のデータが得られないため、フィルム全幅・全長の状態を把握するうえで課題がありました。ラインスキャン膜厚計🄬は、高分解能かつ高速な連続測定に対応しており、最短1msecで測定できます。全幅・全長の膜厚データを取得することで、製品品質の向上と工程異常の早期検知に貢献します。

    ラインスキャン
  2. 特長 02 0.1~300μmの幅広い
    膜厚測定レンジ

    測定レンジが広いため、フィルム基材とコーティング膜の膜厚分布を、1システムで測定できます。

    複雑な操作は一切なし、シンプルでわかりやすいソフトを採用イメージ図"
  3. 特長 03 品質管理用にオフライン
    タイプもラインナップ

    開発・品質管理用途で使用可能です。
    最大幅250mmのカットサンプルの膜厚分布を数十秒で測定が可能です。

    濃厚系から希薄系サンプルまで最適な測定位置を自動調整し約1分の高速測定を実現イメージ

Video 動画

  • ラインスキャン膜厚計

Specs 仕様

仕様
膜厚範囲 0.1~300 μm
測定幅 500 mm~最大10 m
測定間隔 1 ms~
装置サイズ(W×D×H) 81×140×343 mm
重量 4 kg(ヘッドのみ)
最大消費電力 AC100 V±10% 125VA

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