概要

洗浄液のイオン分析(Agilent 7100)

【Agilent7100 キャピラリー電気泳動システム】

洗浄液自体に異物が無いことを確認するために分析が必要とされています。洗浄液は高濃度の薬液(フッ酸、過酸化水素など)を使用しているため測定上カラムがすぐに消耗してしまいますが、キャピラリー電気泳動法ではカラムの消耗を抑え簡単に洗浄液を分析できます。

ウェーハ作製/洗浄/結晶成長

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