CMPスラリーの分散性

概要

研磨時に使用するCMPスラリー内の粒子にムラ^＊があると研磨の効果にバラつきが生じます。液体中の分散、凝集状態は液体中の粒子の粒子径、ゼータ電位を測定することで判断することができます。
＊液体中にムラがある状態を “凝集” といいます。またムラが無い状態を “分散” といいます。

東日本

西日本

「大塚電子会員サイト」では、様々なサービスをご利用いただけます。
皆様の専門知識の向上と実務のサポートを目指して、今後も様々なコンテンツを提供してまいります。
詳しくはこちら

お気軽にご依頼・ご相談ください