概要
プラズマを利用したドライエッチングでは、プラズマの不均一が加工のばらつきを生じさせる原因となります。加工のばらつきは歩留まりの低下を招くため、生産工程においてプラズマの管理が重要となります。プラズマの均一性は(株)サクラクレパスが開発中のPLAZMARK®ウエハ型を用いることで視覚的に色の変化として確認できます。この変化を色差測定システムを用いることで数値化することができ、そして高精度に加工のばらつきを判別することができます。
＊プラズマインジケータは(株)サクラクレパスの商標です。
